化學(xué)機(jī)械金屬拋光液已成為公認(rèn)的納米級(jí)精密超精密加工技術(shù)。切削液廠家它是一個(gè)動(dòng)態(tài)的微細(xì)加工過程，在該過程中，化學(xué)拋光液中的組成成分與工件發(fā)生反應(yīng)，在工件加工表面形成一層很薄、結(jié)合力較弱的生成物；而拋光液中磨粒在壓力和摩擦作用下對(duì)工件表面進(jìn)行微量去除。此外，拋光過程化學(xué)拋光液還通過在拋光區(qū)域形成流體膜以及帶動(dòng)磨粒在拋光區(qū)運(yùn)動(dòng)影響拋光過程。所以，化學(xué)拋光液在化學(xué)機(jī)械拋光過程中，在很大程度上決定著化學(xué)機(jī)械拋光能獲得的拋光表面質(zhì)量和拋光效率。

　　化學(xué)機(jī)械拋光液一般由去離子水、磨料、ph值調(diào)節(jié)劑、氧化劑以及分散劑等添加劑組成，根據(jù)ph值不同，分為酸性和堿性。

化學(xué)拋光液及其組分的作用

　　1 磨料

　　磨料在拋光過程中主要通過微切削、微劃擦、滾壓等方式作用于工件被加工表面，去除表面材料。最理想的化學(xué)機(jī)械拋光過程是磨料的機(jī)械去除表面材料厚度等于化學(xué)反應(yīng)生成物層厚度，此時(shí)，磨粒只需較小的機(jī)械作用去除結(jié)合力較弱的化學(xué)反應(yīng)層的生成物，可減少或避免拋光表面缺陷。磨料的硬度、粒徑、形狀及其在拋 光液中的質(zhì)量濃度等綜合因素決定了磨粒的去除行為和能力。

　　磨料相對(duì)工件的硬度對(duì)磨料的作用機(jī)制有著重要影響。當(dāng)磨粒硬度相對(duì)工件太大時(shí)，在拋光壓力作用下很容易導(dǎo)致磨粒嵌入工件表面，在拋光表面殘留 劃 痕、磨蝕坑；磨粒硬度相對(duì)于工件太小時(shí)，又會(huì)延長(zhǎng)加工時(shí)間。研究表明拋光過程中納米磨料所發(fā)生的自身變形量與磨料的硬度成反比，硬度低的納米磨料由于自身變形量大，其切入工件的深度小，工件拋光表面粗糙度低。

　　磨料在粒徑大小可影響到磨粒的壓強(qiáng)及其切入工件的深度。一般來說，在拋光過程中，粒徑大的磨粒壓強(qiáng)大，機(jī)械去除作用較強(qiáng)，材料去除率較高。所以粒徑較大的磨粒容易在拋光表面產(chǎn)生較大的殘留劃痕甚至殘留裂紋；而粒徑較小的磨?？色@得較好的拋光表面質(zhì)量。另外在磨粒直徑相同的情況下，球形磨粒比表 面不平的磨粒去除效率更高。

　　2 ph值調(diào)節(jié)劑

　　拋光液中常常添加一些化學(xué)試劑用于調(diào)節(jié)拋光液的ph值，以保證拋光過程化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行，化學(xué)機(jī)械拋光拋光液一般分為酸性和堿性兩大類。

　　酸性拋光液最早是由化學(xué)腐蝕液改進(jìn)而來的，具有溶解性強(qiáng)、氧化劑選擇范 圍大、拋光效率高等優(yōu)點(diǎn)，常用于金屬材料的拋光。酸性拋光液的ph值一般為4左右，可通過加入有機(jī)酸作為ph調(diào)節(jié)劑。其缺點(diǎn)是腐蝕性強(qiáng)，對(duì)拋光設(shè)備要求高 ，選擇性較低，但是可加入抗蝕劑苯并三唑來提高其選擇性，不過bta的引入會(huì)影響拋光液的穩(wěn)定性。

　　堿性拋光液具有選擇性高、腐蝕性弱等優(yōu)點(diǎn)，一般用于非金屬材料的拋光。 堿性拋光液的ph值往往在10~11.5范圍內(nèi)，常采用添加無機(jī)堿作為ph值調(diào)節(jié)劑，但其不足之處是在堿性溶液中很難找到氧化性強(qiáng)的氧化劑，因而拋光效率很低

　　3 氧化劑

　　在拋光過程中，為了能夠較快地在拋光表面形成一層結(jié)合力弱的氧化膜，有利于后續(xù)的機(jī)械去除，常常會(huì)在拋光液中添加氧化劑。在氧化劑的氧化腐蝕和磨料的研磨共同作用下，被加工表面可達(dá)到高質(zhì)量的全局平坦化效果。

　　不同的氧化劑對(duì)工件的氧化效果不同。一般來說，雙氧水在拋光液中不能穩(wěn)定地存在，但添加氯化亞鐵可增強(qiáng)其穩(wěn)定性；二氧化錳作為氧化劑的拋光效果最差，高錳酸鉀的最好。

　　氧化劑的濃度也會(huì)對(duì)拋光效果產(chǎn)生影響。氧化劑濃度增加，氧化膜厚度會(huì)變大，材料的去除率反而會(huì)減少。